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海德水刀晶圆半导体专用水切割解决方案

海德水刀晶圆半导体专用水切割解决方案

海德水刀水切割成功案例

客户案例 —— 海德水刀晶圆半导体专用水切割解决方案

企业名称:某微机电制造研究院

水刀机型:HD3D20AS-0303BA-3A

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HD3D20AS-0303BA-3A


客户背景:

该客户为微机电制造领域知名研究院,正在做晶圆半导体切割方面的研究与测试。需要一种能够提供精密切割和优异电性能的解决方案,以便于后续的材料加工与性能分析。


客户需求:

工件切割:切割精度需达到±0.05mm,满足高标准的科研需求。

全面安全防护:切割过程中需要确保操作人员的安全,防止任何意外情况。

定制化工装:需要精确定制工装夹具,确保切割材料的支架固定,切割精度。

赞成设计:根据不同切削材料的尺寸及设备支架空间,设计独特的床身结构。


设计方案:

海德科技经过深入的需求分析和多次讨论,最终为客户设计了HEAD0303BA定制化全封闭水刀切割机解决方案,方案内容包括:

1. 整体设计

采用全封闭结构,确保切割过程中严禁开门,智能系统能自动关闭设备,全面防护切割风险,同时有效降低了噪音,防控设备安全。

2. 高精度切割

该设备切割精度达到±0.05mm,保证晶圆在后续加工中的电性能和稳定性,满足高标准的科研要求。

3.定制化工装

为客户量身定制专用工装夹具,确保切割材料支架固定,特别是在检测制样的切割工装夹具下,定制工装发挥了独特的优势。

4.定制床身

根据客户的切割材料大小及设备货架空间,设计了独特的床身结构,保证设备装备不同的实验需求。

5.第四代航空铸造横梁

采用T6热处理工艺的铝合金横梁,具有强度高、抗变形能力强等特点,优化减轻重量,提高设备的运动速度。


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最终设备成品实拍


设备优势:

  • 安全性保障:全面安全防护设计,确保操作人员百分之百的安全,目前广泛考核实验室、高校等高要求场景下的操作。

  • 高效切割:结合高压水切割技术,保证了切割精度,提升了生产效率,降低了材料浪费。

  • 定制化解决方案:为客户定制工装和床身结构,确保设备适用性与灵活性。

  • 噪音控制:全封闭设计有效降低了切割过程中产生的噪音,优化了工作环境。



切割实录


结语:

该方案顺利交付并运行后,客户对设备的性、安全性和高效定制化设计表示高度认可。客户反馈称,海德的水刀切割机不仅满足了其当前的科研需求,还为未来的项目扩展提供了可靠的支持。研究院表示,海德水刀切割方案极大提升了其晶圆加工的效率和质量,为半导体材料切割研究的深入发展提供了创新动力。

海德水刀

沈阳海德科技有限公司

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